华体会官网注册:上海鸿辉光通获得一种晶圆清洗甩干设备专利保证晶圆的清洗作用
来源：华体会官网注册 发布时间：2025-11-03 01:33:06
金融界2025年8月16日音讯，国家知识产权局信息数据显现，上海鸿辉光通科技股份有限公司获得一项名为“一种晶圆清洗甩干设备”的专利，授权公告号CN223222054U，请求日期为2024年09月。
专利摘要显现，本实用新型触及半导体制作技术领域，且公开了一种晶圆清洗甩干设备，包含：晶圆甩干机、用于排出晶圆甩干机发生抛弃去离子水的排水管、用于搜集抛弃去离子水的搜集箱、以及用于检测抛弃去离子水电阻率的电阻测试仪，所述搜集箱上还设置有刮壁组件。该晶圆清洗甩干设备，先使用搜集箱暂时搜集晶圆甩干机经过排水管排出的抛弃去离子水，再经过电阻测试仪检测所排出去离子水的电阻率，以判别其电阻率是不是满意规范，假如电阻率低于规范，水中离子浓度较高，意味着晶圆外表仍有残留物未被完全清洗，则制止该等晶圆流入下一工序，而且将该晶圆从头冲刷，直到抛弃去离子水的电阻率到达规范停止，以此便可保证晶圆的清洗作用。
天眼查资料显现，上海鸿辉光通科技股份有限公司，成立于2001年，坐落上海市，是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制作业为主的企业。企业注册资本13200万人民币。经过天眼查大数据分析，上海鸿辉光通科技股份有限公司共对外出资了9家企业，参加招投标项目18次，产业线条，此外企业还具有行政许可34个。
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